a concentric unevenness in film thickness was formed
when the film was deposited on the wafer, a concentric unevenness in film thickness formed
concentric unevenness in film thickness
同心円状に膜厚段差(加工ムラ)
〜was formed
~が形成された
when the film was deposited on the wafer,
電子材料のウエハー上に成膜された膜を加工した時
a concentric unevenness in film thickness formed
同心円状の加工ムラができた
例えばエッジがセンターより薄いということであればthe center-to-edge film thickness was not uniform (センターとエッジは均一じゃなかった)なども言いますね。
ご参考になれば幸いです。