こんにちは！
ご質問ありがとうございます。
『目安の加工レート』は、
どんな加工装置で何の加工レートかによっても言い方が変わるかと思いますが、
例えば、『目安の加工率は○○です。』ということであれば、A standard processing rate is oo. と言えるでしょう。
また、etching rate とすると『エッチング速度』となります。
『推奨されているレート』とするのであれば、suggested rate と言えますね！
Set it at the suggested rate. とすると『推奨レートで設定して下さい。』となります。
メモ
as a standard 目安として、基準として
参考になれば幸いです。
日本 
