"Can you wait for 〜" は「〜を待ってくれますか?」と相手にお願いする時に使われる表現です。
「返信、返事」は "reply" "answer" "response" などと表します。
「少し(の間)」は、"for a while" の他にも "for a second" "for a moment" "for a bit" などの言い方があります。
"so" は「なので、だから、よって」という意味で、前の文の結果を後ろに続けます。
「(〜に対して)人に返信/返事する」は "send back to 人" "send a reply to 人" "get back to 人" "reply to/respond to/answer 〜" など、多くの言い方があります。
「後ほど、後で」は "later" が良いでしょう。
文章を1つにまとめたい場合にぜひ使ってください。また、「私は今〇〇をしているので」は必ずしも理由を示す言い方ではないという点に注目してください。そして今回は、afterを利用し、文章全体として「XXが終わり次第早急に連絡します」という意味の英訳をしました。極端な話、Can you wait for a bit while I was doing XX?と、while「〜している間」「〜している一方」を使っても良いわけです。日本語と英語の逐語訳に捉われず、いろんな表現ができると良いですね。