質問ありがとうございます。
英語では「気を使う」にぴったり当てはまる一つの言葉はありません。
状況によって言葉も変わります。
この場合は、
❶I didn’t want to wake you up.
「あなたを起こしたくなかったから」、を使います。
要するに「あなたを起こさないよう気をつかったんだよ」という意味が含まれます。
例えば、
I left the house without saying anything because I didn’t want to wake you up.
(朝何も言わずに出かけたのは、あなたを起こしたくなかったから、気をつかったからよ)
という意味が含まれます。
参考になれば嬉しいです!